Deze procestechnologie vermindert de ruimte tussen de circuits in de wafels, zodat de wafel meer transistors kan bevatten en dus meer informatie kan opslaan en deze sneller kan verwerken.
Elle permet de réduire l'espace entre les différents éléments du circuit sur la plaquette, qui pourra ainsi recevoir un nombre plus grand de transistors et, par conséquent, mémoriser plus d'informations et les traiter plus rapidement.