a) entwickelt gemäß Herstellerangaben oder optimiert, um einen CD-Wert (critical dimensions) von kleiner oder gleich 0,3 μm mit einer 3-Sigma-Abweichung von ± 5 % zu erreichen, oder
a. ontworpen volgens de specificaties van de fabrikant of geoptimaliseerd om kritische afmetingen te produceren van 0,3 micrometer of minder met een precisie van ± 5 % 3 sigma; of