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PECVD-Verfahren
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Physikalische Dampfphasenabscheidung
Physikalische Gasphasenabscheidung
Physikalisches Abscheiden aus der Gasphase
Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung
Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung
Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung
Plasmaunterstütztes CVD-Verfahren

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chemische dampafzetting ondersteund door plasma
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fysische dampdepositie
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