The project concerns the construction of a new plant for the production of calcium-fluoride crystals for optic lithography used to produce wafer-steppers.

http://europa.eu/rapid/press-r (...) (...) [HTML] [2002-10-15]

Le projet porte sur la construction d'une nouvelle usine de production de cristaux de fluorure de calcium destinés à la lithographie optique, utilisée pour produire des photorépéteurs.

http://europa.eu/rapid/press-r (...) (...) [HTML] [2002-10-15]

http://europa.eu/rapid/press-r (...) [HTML] [2002-10-15]

For aspheric optical elements specially designed for lithography equipment, see 3B001.

http://eur-lex.europa.eu/legal (...) (...) [HTML] [2002-12-31]

Pour les éléments optiques asphériques spécialement conçus pour les équipements de lithographie, voir le paragraphe 3B001.

http://eur-lex.europa.eu/legal (...) (...) [HTML] [2002-12-31]

http://eur-lex.europa.eu/legal (...) [HTML] [2002-12-31]

The project comprises industrial research and pre-competitive development for five work packages (light sources, optics, masks, mask carriers and resist and lithography process development).

http://europa.eu/rapid/press-r (...) (...) [HTML] [2001-07-17]

Ce projet consiste dans des travaux de recherche industrielle et de développement préconcurrentiel s'articulant autour de cinq modules (les sources lumineuses, l'optique, les masques, les supports de masque et la mise au point de procédés de réserve et lithographiques).

http://europa.eu/rapid/press-r (...) (...) [HTML] [2001-07-17]

http://europa.eu/rapid/press-r (...) [HTML] [2001-07-17]

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